在一样平常使用历程中，必然要不按期的举行调养维护，只有合理的调养和维护，才能使真空镀膜机事情时，效率更高，使用寿命更长，突发环境产生概率更低，从而到达降低成本感化。那么真空光学镀膜机若何调养呢？
1、认真空镀膜机粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）持续事情一个月（雨季减半），需改换新油。拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，插手新油至额定量（油视镜调查）。持续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦洁净箱内污垢。
2、扩散泵持续使用6个月以上，抽速明明变慢，或操作失当，充入大气，拆去联络水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆洗濯一遍，再用洗衣粉兑水洗濯一遍，然后用净水彻底洗濯洁净，待水份挥发干以后，装好泵胆，插手新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以从头开机。在从头开机前，要注重检漏事情。启动维持泵，关好大门，数分钟后，调查扩散泵部门真空度是否到达6X10帕，不然要举行检漏。查抄联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。解除漏气隐患后方可加热，不然扩散泵油会烧环，无法进入事情状况。
3、真空镀膜机每完成200个镀膜法式以上，应清洁事情室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液重复擦洗真空室内壁，（注重人体皮肤不行以直接打仗烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH产生反映，反映后膜层脱落，并开释出氢气，再用净水洗濯真空室和用布沾汽油洗濯精抽阀内的污垢。
一样平常维护调养环节，必不行少，维护调养环节做的好，天然呆板也更康健，效率也就更高。