真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（上电极）、上层密封用的玻璃构成，个中下电极溅射在玻璃衬底上，电极上生长一绝缘层；硅膜是操纵硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐化技能形成的。那么真空度传感器的事情道理是什么呢？
1、真空传感器的事情道理是介质的压力直接感化在传感器的膜片上，使膜片发生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻产生转变，和用电子线路检测这一转变，并转换输出一个对应于这个压力的尺度信号。
2、真空传感器是工业实践中常用的一种压力传感器，其遍及应用于各类工业自控情况，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能修建、出产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、透风管道等浩瀚行业。
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