光刻机接纳雷同照片冲印的技能，把掩膜版上的精细图形通过光芒的曝光印制到硅片上。那么光刻机机能指标是什么呢？
1、光刻机的首要机能指标有：支撑基片的尺寸规模，辨别率、瞄准精度、曝光方式、光源波长、光强匀称性、出产效率等。
2、辨别率是对光刻工艺加工可以到达的最细线条精度的一种描述方式。光刻的辨别率受受光源衍射的限定，以是与光源、光刻体系、光刻胶和工艺等各方面的限定。
3、瞄准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。
5、曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域，光源有汞灯，准分子激光器等。
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